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半導(dǎo)體封測(cè)入門到實(shí)戰(zhàn):技術(shù)發(fā)展、設(shè)備選型與檢測(cè)方法

 更新時(shí)間:2025-05-06 點(diǎn)擊量:190

在半導(dǎo)體制造的全流程中,封裝與測(cè)試(簡(jiǎn)稱"封測(cè)")作為后道關(guān)鍵工序,猶如芯片產(chǎn)品的"品質(zhì)守門人",肩負(fù)著保障芯片可靠性、提升產(chǎn)品性能的重要使命。隨著5GAI、物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)的快速發(fā)展,芯片封裝技術(shù)正經(jīng)歷著從傳統(tǒng)向先進(jìn)的跨越式變革,而精準(zhǔn)高效的測(cè)試技術(shù)則成為確保芯片品質(zhì)重要的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

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本文將系統(tǒng)性地為您剖析:

芯片封裝技術(shù)的演進(jìn)歷程與發(fā)展趨勢(shì)

先進(jìn)封裝的核心技術(shù)原理與工藝特點(diǎn)

封測(cè)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵設(shè)備與質(zhì)量控制要點(diǎn)

行業(yè)前沿的創(chuàng)新方向與技術(shù)挑戰(zhàn)

通過(guò)詳實(shí)的技術(shù)解析和直觀的示意圖示,我們將帶您深入了解從傳統(tǒng)封裝到2.5D/3D先進(jìn)封裝的技術(shù)躍遷,揭示封裝測(cè)試如何保障芯片可靠性,并探討Chiplet等創(chuàng)新技術(shù)為行業(yè)帶來(lái)的新機(jī)遇。

 

一、封裝的目的與重要性

芯片封裝是將晶圓上的裸芯片(晶粒)轉(zhuǎn)化為最終成品的關(guān)鍵步驟。封裝主要有兩大目的:

保護(hù)功能:防止脆弱的晶粒受到物理?yè)p傷或空氣中的雜質(zhì)腐蝕

適應(yīng)應(yīng)用:根據(jù)不同使用場(chǎng)景需求,提供合適的外形和連接方式

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我們?nèi)粘R姷降母鞣N形狀的芯片,其實(shí)都是不同封裝類型的結(jié)果。

1不同封裝類型的芯片

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二、封裝技術(shù)發(fā)展歷程

封裝技術(shù)已走過(guò)70多年的發(fā)展歷程,大致可分為五個(gè)階段:

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1傳統(tǒng)封裝時(shí)代(1960-1990

早期采用TO(晶體管封裝)和DIP(雙列直插封裝):

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TO封裝:經(jīng)典三極管造型

DIP封裝:雙排直插式引腳

DIP封裝內(nèi)部結(jié)構(gòu)

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隨后發(fā)展出SOP(小外型封裝)及其衍生系列:

SOJJ型引腳小外形封裝)

TSOP(薄小外形封裝)

VSOP(甚小外形封裝)

SSOP(縮小型SOP

TSSOP(薄的縮小型SOP

SOT(小外形晶體管)

SOIC(小外形集成電路)

這些傳統(tǒng)封裝主要依靠引線連接晶粒與外部電路,至今仍用于對(duì)性能要求不高的經(jīng)典芯片。

2BGA封裝時(shí)代(1990-2000

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隨著電子產(chǎn)品小型化需求,BGA(球柵陣列封裝)成為主流:

引腳位于芯片下方,數(shù)量多

體積緊湊,適合小型設(shè)備

類似技術(shù)還有LGA(平面網(wǎng)格陣列)和PGA(插針網(wǎng)格陣列)

BGA封裝結(jié)構(gòu)

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3先進(jìn)封裝崛起(2000年后)

這一階段出現(xiàn)了三大革新性封裝技術(shù):

芯片級(jí)封裝(CSP):封裝尺寸接近芯片本身(不超過(guò)1.2倍)

晶圓級(jí)封裝(WLP):先封裝后切割晶圓,流程與傳統(tǒng)相反

倒裝封裝(Flip Chip):晶圓反轉(zhuǎn)通過(guò)凸點(diǎn)(Bump)直接連接基板

倒裝封裝示意圖

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4三維封裝時(shí)代

進(jìn)入21世紀(jì)后,封裝技術(shù)向三維空間發(fā)展:

2.5D/3D封裝

硅通孔(TSV)

重布線層(RDL)

扇入/扇出型晶圓級(jí)封裝

系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)

這些技術(shù)成為延續(xù)摩爾定律的關(guān)鍵。

 

三、先進(jìn)封裝核心技術(shù)

12.5D/3D封裝技術(shù)

2.5D封裝:

通過(guò)硅中介層(Interposer)整合多種芯片

信號(hào)橫向傳輸

需要TSVRDL等技術(shù)支持

23D封裝:

垂直堆疊多個(gè)芯片

直接在芯片上打孔布線

典型應(yīng)用:HBM高帶寬存儲(chǔ)器

 

2.5D3D封裝對(duì)比

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2、系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)

SoC(系統(tǒng)級(jí)芯片)不同:

SiP直接整合多個(gè)現(xiàn)有芯片

采用2.5D/3D堆疊方式

更靈活、成本更低

Chiplet(小芯片)技術(shù)基于SiP理念

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3、硅通孔(TSV)技術(shù)

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在硅介質(zhì)層刻蝕垂直通孔

填充金屬實(shí)現(xiàn)上下層連接

實(shí)現(xiàn)小型化、高密度互連

3D封裝的關(guān)鍵技術(shù)

4、重布線層(RDL)技術(shù)

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在芯片表面沉積金屬層形成新導(dǎo)線

重新布局IO端口

實(shí)現(xiàn)芯片與基板間的靈活連接

TSV配合:TSV負(fù)責(zé)Z軸,RDL負(fù)責(zé)X-Y平面

四、扇入/扇出型晶圓級(jí)封裝

1扇入型(Fan-In WLP)

直接在晶圓上封裝后切割

封裝尺寸=芯片尺寸

2扇出型(Fan-Out WLP)

先切割后重新布置到人工載板

封裝尺寸>芯片尺寸

可提供更多IO接口

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五、封裝測(cè)試設(shè)備介紹

在封裝測(cè)試環(huán)節(jié),各種精密設(shè)備發(fā)揮著關(guān)鍵作用。以科準(zhǔn)測(cè)控的Beta S100推拉力測(cè)試機(jī)為例:

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Beta-S100自動(dòng)推拉力測(cè)試機(jī)是一款專業(yè)用于微電子封裝測(cè)試領(lǐng)域的高精度動(dòng)態(tài)測(cè)試儀器。該設(shè)備主要應(yīng)用于:

1核心測(cè)試功能

引線鍵合焊接強(qiáng)度測(cè)試

焊點(diǎn)與基板粘接力測(cè)試

失效分析研究

2典型測(cè)試項(xiàng)目

晶片推力測(cè)試

金球推力測(cè)試

金線拉力測(cè)試

3技術(shù)特點(diǎn)

配備高速力值采集系統(tǒng)

模塊化設(shè)計(jì),支持自動(dòng)識(shí)別和切換測(cè)試模組

量程可自由切換

操作簡(jiǎn)便的專用軟件系統(tǒng)

這類設(shè)備對(duì)于確保封裝質(zhì)量、提高產(chǎn)品可靠性至關(guān)重要,是封測(cè)廠的核心裝備之一。

 

對(duì)于初入半導(dǎo)體行業(yè)的從業(yè)者和技術(shù)愛好者而言,掌握基礎(chǔ)的封裝概念和技術(shù)原理,是深入了解這個(gè)領(lǐng)域的重要第一步。希望本文能夠幫助您建立起對(duì)芯片封裝技術(shù)的基本認(rèn)知框架。

科準(zhǔn)測(cè)控作為專業(yè)的測(cè)試設(shè)備提供商,將持續(xù)關(guān)注封裝測(cè)試領(lǐng)域的zui技術(shù)發(fā)展。我們的Beta-S100自動(dòng)推拉力測(cè)試機(jī)等專業(yè)設(shè)備,已廣泛應(yīng)用于:金絲鍵合可靠性分析焊點(diǎn)強(qiáng)度測(cè)試封裝失效分析等多個(gè)關(guān)鍵質(zhì)量檢測(cè)環(huán)節(jié)。

如需了解更多關(guān)于:

? 鍵合絲拉力測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)

? 推拉力測(cè)試機(jī)操作規(guī)范

? 焊接強(qiáng)度測(cè)試方法

? 各類封裝測(cè)試解決方案

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